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这种dna加工纳米图形的方法叫做dna投影纳米印刷术,也可以叫做dna模板印刷术。
这种方法可以利用dna为模板来定义基片图案。
原理是把dna在基片上排列整齐,再在上面沉积一层金属膜。
dna分子起纳米蜡纸的作用,这样来便在基片上定义了一些小于10纳米的图案。由于金属膜以一定角度沉积,dna分子的投影便定义了基片上的图案。
接下来再使用等离子体刻蚀机对图案表面进行刻蚀,便可以在基片上便可得到纳米尺寸的沟槽。
这样就正好绕开了光刻步骤!
光刻机在芯片生产中很重要,但是它的作用其实很简单。
光刻机在芯片生产中的作用就是通过光源与基片上面的光刻胶发生反应,使得照射部分的光刻胶变质,易于腐蚀,从而在光刻胶上面“画”出电路图案。
接下来便可以把变质部分的光刻胶腐蚀掉,然后再对晶圆本身进行腐蚀,从而形成半导体器件及其电路。
也就是说光刻机起到的只是一个定位的作用,真正的电路形成还是得看刻蚀!
而现在这个定位的作用可以由dna模板来完成!
如果按照这种技术思路走下去,那未来的碳基芯片制备就是走化生的方式,完全是从各种溶液里面泡出来。
因为除了碳纳米管,类似像金属,氧化物等纳米材料也可以用dna工具进行生长,搭建,组装。
由此可见直接从溶液里面把碳纳米晶体管泡出来,再组装到芯片上来的情况也不是不可能。
而且这种技术也符合陈神的需求,只有这种可以摆脱光刻机加工的新技术,才有可能在当前满足绿洲系列碳基芯片的生产加工。
最关键的是,陈神还真在系统提供的加工资料里面找到了对应的dna模板印刷术!
系统的技术资料极其齐全,有碳基芯片生产的所有环节,其中这个制造纳米图形的环节,生产工艺不仅有光刻技术,还有dna模板印刷术。
这说明在系统的推算下,不仅光刻机可以用来制造碳基芯片,dna模板印刷术也一样可以!
这两者的作用的确是等同的。
而且跟以往一样,系统提供的dna模板印刷术比起目前的水准还要高上几个世代,完美解决了这项技术在碳基芯片生产上的应用问题。
连带着其他如碳纳米管提纯、碳纳米管组装排列技术等等步骤的工艺也同样要领先当前好几个世代。
不过这些技术都没有完全超脱当前的理论基础,更像是现在的技术理论发展了几十年之后的样子。
陈神把光刻和dna模板印刷这两种工艺仔细研究,很快就对比出两种方法的差别。
使用光刻机的话,最大的好处就是方便,基本上可以直接使用现在硅基芯片使用的光刻机。
而使用dna模板印刷术,则需要为这种工艺特别建立起一条供应链。
不过这种工艺最大的一个好处就是生产方便,对生产环境要求比光刻机要低至少一半,也无需在暗室中进行。
而且想使用这种技术制造更高精度的纳米图形,难度也比研究升级一台光刻机要容易。
至少对于陈神来说是这样的……
到了这个地步,碳基芯片的生产工艺他已经弄明白了,那接下来就要走下一步了。
接下来的几天时间里,陈神都坐在电脑面前,用脑机装置控制电脑写着自己关于碳基芯片的新技术方案。
只要这个技术方案出世,碳基芯片从研制到生产上面的理论问题,他也就基本解决了,再然后就是产业化的问题了。
不过到了那个地步就不是他要考虑的事情了。
他这种科学家在这种技术投产的问题上面起不了什么作用,这种事情得让棱角科技和大胜工业来进行。
窝在房间里面一个多星期,时间已经到了五月下旬,陈神才拿着自己的方案走出房间。
看着外面蓝蓝的天空,再感受树荫下基地海边吹来的凉爽海风,很是让人心情舒畅。
之前待在宿舍里产生的负面情绪,一下子就被海风带走,如果这里没有被封锁,那么应该也是一处让人心旷神怡的风景圣地。
在基地里面漫无目的地闲逛了一会儿,心情得到了放松,陈神才带着手上的方案去了王倩的办公室。
“倩姨?”陈神敲了敲门,里面很快就响起了应答声,他这才推门进去。
在办公桌后面,王倩还在噼里啪啦地敲着面前的键盘。
陈神一时间都忍不住替那个键盘心痛,心里想着要不要也弄一套脑机装置送给倩姨,好让她的键盘过一个安稳的后半生,为基地省下一点办公费用的同时,还可以提升一下倩姨的办公效率。
“你今天过来想必又是有了什么突破?”王倩这时候突然从电脑屏幕的一边探出头来看了他一眼,马上就看到了他手上的硬盘。
“那当然有啊!”陈神笑了笑,他话音未落,王倩顿时就停下了对键盘的敲击,把电脑屏幕熄灭,来到待客区这里,坐到他的对面。
“我猜是碳基芯片?”王倩看了一眼他手上的几个硬盘猜测道。
“嗯嗯,没错,你看一下吧。”陈神点头,把自己面前的硬盘统统推到王倩面前。
王倩拿起其中一块,看了一眼上面的标记,上面是自己看得懂但是看不明白的汉字,干脆放弃从硬盘上面获取信息,直接问道:“你在这项技术上面取得了什么突破?”
陈神说道:“从你给我的资料来看,国内的碳基芯片技术已经达到了初步的产业化生产标准,所以我只是针对这些工艺进行了一些改进。”
王倩认真倾听,手上的录音笔已经打开,随时记录着。
“接下来我需要圆明园职院那边的团队帮我做一下实验,对我的这些想法进行验证,如果没有问题的话,就可以开始研究生产设备,考虑产业化的事情了。”
陈神的话到此为止。
王倩想了想问道:“那就是说你的方法也是可以产业化的了?如果按照你的方法进行生产的话,最高可以生产什么规格的芯片?”
对于这个问题,陈神想了想,“这里面有我对于14纳米碳基芯片的一些生产设想,如果没有问题的话,自然也是可以实现14纳米制程的碳基芯片生产。”
王倩点点头,虽然有些惊讶,但还是暗自记下14纳米这个细节。
她自然知道这个技术如果真的能实现,那简直就是一场芯片行业的大变革,只不过面对陈神拿出来的成果,她已经升不起太多的情绪了。
习惯是一种强大的力量……
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